МЕХАНИЗМ ПРОЦЕССА И ТЕХНОЛОГИЯ ГАЗОФАЗНОГО СИНТЕЗА НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

Елагин А.А.; Шишкин Р.А.; Афонин Ю.Д.; Бекетов А.Р.; Баранов М.В.

МЕХАНИЗМ ПРОЦЕССА И ТЕХНОЛОГИЯ ГАЗОФАЗНОГО СИНТЕЗА НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

Елагин А.А.1,Шишкин Р.А.1,Афонин Ю.Д.1,Бекетов А.Р.1,Баранов М.В.1

1ФГАОУ ВПО «Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина»

Библиографическая ссылка

Елагин А.А., Шишкин Р.А., Афонин Ю.Д., Бекетов А.Р., Баранов М.В. МЕХАНИЗМ ПРОЦЕССА И ТЕХНОЛОГИЯ ГАЗОФАЗНОГО СИНТЕЗА НИТРИДА АЛЮМИНИЯ // Научное обозрение. Технические науки. 2014. № 1. С. 152-152;
URL: https://science-engineering.ru/article/view?id=214 (дата обращения: 17.09.2026).